特長
■ATカット水晶振動子用(機械加工用)
最も一般的なATカット用の人工水晶です。
様々なATカットウエハサイズに使用するアズグロウン人工水晶を製造しています。
小型ウエハから大型ウエハまで、御社の設計に応えられるよう各種サイズの人工水晶を提供いたしております。
■音叉型水晶振動子用
音叉型水晶振動子用のウエハに最適な人工水晶です。方位1 °~3.5 °の種結晶を使用し製造していますので、デバイス設計にマッチした人工水晶を提供しております。
またご要望により、3インチ角、4インチ角、及び、Φ3インチ , Φ4インチ, Φ6インチ に加工したランバード原石も提供しています。ウエハ加工のコスト削減にお役立てください。
品質
■高品質
徹底した品質管理の元に製造した、内部欠陥、異物密度が少ない人工水晶です。量産用水晶振動子から安全制御系デバイス用水晶振動子まで幅広い用途にご使用いただけます。
音叉型水晶振動子用人工水晶には、エッチチャンネル密度で管理された種子結晶を使用しております。この人工水晶から製造されるウエハはエッチチャンネル密度が小さく、フォトリゾグラフ加工にも安心してご使用いただけます。エッチチャンネル密度は、人工水晶・品質規格「JIS
C 6704」に規定される 1グレードを満足いたします。
異物密度、及びα3585は、それぞれ人工水晶・品質規格「JIS C 6704」に規定されるⅡ等級、及びC等級を満足いたします。
仕様
■アズグロウン人工水晶
アズグロウンとは、育成されたままの状態の人工水晶です。ウエハ切断に高い歩留まりが得られるよう、使用目的に応じた寸法が自由に選択できます。
※特殊仕様については、お問い合わせください。
■ランバード人工水晶
人工水晶のX,Z面を所定の寸法及び角度に加工したものです。
ランバード人工水晶の加工面は高い精度で加工してあり、精度のよいウエハ切断が可能です。
音叉型水晶振動子用は、結晶方位(Z面角度)を1°~3.5°まで選択することが出来ます。
※特殊仕様については、お問い合わせください。
■ブロック外形図
アズグロウン
ランバード
角状ランバード
丸状ランバード
◆使用上の注意
人工水晶をご使用の前に必ず下記をご熟読ください。
水晶は573℃において相転移をおこしα水晶からβ水晶に変化します。この相転移は可逆的ですが、β水晶からα水晶に転移するとき一様に転移がおこらないため、双晶が発生します。従いましていかなる場合もこの温度(573℃)以上にはしない様ご注意ください。