SAWデバイス用ウエハの規格を図に示します。
切断角度（方向角（θ））はご指定下さい。
厚みについてはご要望に応じて製造いたします。

音叉型振動子用ウエハの規格を図に示します。
切断角度（方向角（θ）、傾角（α））はご指定下さい。
ウエハは、3インチサイズ、4インチサイズに対応しております。6インチサイズも対応する予定です。

水晶以外のウエハとの貼合せ用に適したウエハを提供いたします。6インチまで対応可能です。

主面の表面粗さRaは0.5nm以下、また、TTV（Total Thickness Variation) は、0.5µm以下に仕上げます。
貼り合わせ基板用としてお試しください。