光学製品
高出力レーザー用水晶波長板

アプリケーション

  • 半導体露光装置
  • 高出力レーザー 等
アプリケーション

特長

  • レーザー耐性に優れた最高純度の人工水晶「N-Grade EX」を利用可能です。
  • 最高純度の人工水晶「N-Grade EX」を利用することで、高レーザー耐性のため、真空紫外域の吸収端でも高い透過率を維持します。
  • テラヘルツ帯で高い透過率を有しており、医療・セキュリティー用途でご利用いただけます。
  • 最大Φ200mm(Laserグレード)まで大判対応可能です。

高出力レーザー用水晶波長板向け水晶等級

「N-Grade EX」が最も高純度な製品となります。

グレード 異物密度1)
(JIS規格)
Q35852)
(JIS規格)
不純物(ppb) 参考値3) 使用温度4)
Al Na Ca Fe Li
n-Grade EX Ⅰa Aa 19 <2 <1 <1 5 573 max
n-Grade Ⅰa A 70 60 <40 <40 <40 573 max
Laser Ⅰa C 2700 1100 140 40 800 573 max

備考)

  1. 1)異物密度はJIS-C 6704 に準じます。Iaグレードは光学用途のインクルージョンが最も少ない製品です。
  2. 2)赤外線吸収係数α値はJIS-C 6704に準じます。水酸基‐OHによる吸収係数により規格化されています。
  3. 3)ICP-MSによる定量分析例です。不純物量を保証するものではございません。
    ご要望により原石毎の分析を行い添付をすることが可能ですが、その場合分析費用を別途頂戴いたします。
  4. 4)人工水晶は573℃に相転移温度がございます。これ以下の温度でご使用ください。

レーザー耐久性

N-Grade EX

N-Grade EX

一般光学用(JIS Dグレード)

一般光学用(JIS Dグレード)

レーザー照射条件:ArF エキシマレーザー 50mJ/cm2,100Hz,1×105 shot
装置:VARIAN社製 測定波長:190〜800nm

紫外領域透過率性能

Transmittance comparison between high and low Q value

紫外領域透過率性能

高耐久コーティング技術

レーザー損傷を考慮した設計、製造方法にて、レーザーに対し高い耐久性を持つコーティングをご利用いただけます。

レーザー用波長板ARコート例

レーザー用コーティング技術

レーザー損傷閾値

DTp=99 [J/cm2] (実測値)

@1064nm, 10nsec

図1 レーザーパルス波形(10ns)

レーザーパルス波形(10ns)

図2 評価レーザー装置光学配置図

評価レーザー装置光学配置図

図3 Irradiation Beam profile X410μm X y420μm

Irradiation Beam profile
X410μm×Y420μm

レーザー用直接接合技術

レーザーによる接着剤の劣化を防止するため、接着型の波長板に関しては、接着剤を使用しないオプティカルコンタクト型の波長板もご利用いただけます。
従来のエアーギャップ型に対して、コーティング数を低減することができ、レーザー耐性が向上いたします。

レーザー用直接接合技術

標準仕様

適用可能波長 λ=192~1550nm
位相差 λ/2(180°)、またはλ/4(90°)(任意の波長λにおいて)
位相精度 +λ/200(1.8°)(任意の波長λにおいて)
外形寸法 Y-cut最大Φ50mm(N-Grade EX)
Z-cut最大Φ89mm(N-Grade EX)
最大Φ200mm(Laserグレード)
ARコート反射率 0.25%(任意の波長λにおいて)
透過波面精度 P-V値:λ/4以下(有効領域80%以内)
レーザー耐性 40J/cm2以上(1064nm、10ns Pulse typical)
その他 コーティング、貼り合わせは当社内で行います

外形

下記寸法の範囲内で対応可能です。
また、下記以外の外形につきましても、検討させて頂きます。
ホルダー製作も可能です。

外形

特性例

特性例

製品ラインナップ例

  • 丸板、角板とも対応可能です。
  • ポリッシュ、砂面も対応いたします。
  • コート付きの対応も可能です。仕様をご提示ください。
サイズ グレード 切断方位 領域 異物密度等級 α3585値等級 素坂面積度 主面角度精度
φD(mm) t(mm)
15 2.0 N-Grade EX YまたはX Z領域 Ⅰa Aa λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
15 2.0 N-Grade YまたはX Z領域 Ⅰa A λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
15 2.0 Laser YまたはX Z領域 Ⅰa C λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
15 3.0 N-Grade EX YまたはX Z領域 Ⅰa Aa λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
15 3.0 N-Grade YまたはX Z領域 Ⅰa A λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
15 3.0 Laser YまたはX Z領域 Ⅰa C λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
20 2.0 N-Grade EX YまたはX Z領域 Ⅰa Aa λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
20 2.0 N-Grade YまたはX Z領域 Ⅰa A λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
20 2.0 Laser YまたはX Z領域 Ⅰa C λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
20 3.0 N-Grade EX YまたはX Z領域 Ⅰa Aa λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
20 3.0 N-Grade YまたはX Z領域 Ⅰa A λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
20 3.0 Laser YまたはX Z領域 Ⅰa C λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
25 2.0 N-Grade EX YまたはX Z領域 Ⅰa Aa λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
25 2.0 N-Grade YまたはX Z領域 Ⅰa C λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
25 3.0 N-Grade EX YまたはX Z領域 Ⅰa Aa λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
25 3.0 Laser YまたはX Z領域 Ⅰa C λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
30 2.0 N-Grade EX YまたはX Z領域 Ⅰa Aa λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
30 2.0 Laser YまたはX Z領域 Ⅰa C λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
30 3.0 N-Grade EX YまたはX Z領域 Ⅰa Aa λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
30 3.0 Laser YまたはX Z領域 Ⅰa C λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
40 4.0 N-Grade EX YまたはX Z領域 Ⅰa Aa λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
40 4.0 Laser YまたはX Z領域 Ⅰa C λ/4(@632.8nm) 0° 00' ±10'
50 5.0 N-Grade EX YまたはX Z領域 Ⅰa Aa λ/2(@632.8nm) 0° 00' ±10'
75 最大20.0 規定なし X +X領域 Ⅰa C λ/2(@632.8nm) 0° 00' ±10'
100 最大20.0 規定なし X +X領域 Ⅰa C - 0° 00' ±10'
150 最大25.0 規定なし X +XとZ領域 Ⅱ(100φ内はⅠa) C - 0° 00' ±10'

お問い合わせ

※特殊仕様については、お問い合わせください。

保証項目

光学製品の環境及び機械的特性に関しては、温度、湿度、耐衝撃性や耐熱性等を試験項目とします。
製品ごとに各試験項目と条件を設定し、製品の特性を保証いたします。但し、光学製品の形状・特性・用途や環境等により、保証項目や条件は異なります。

高温試験 85℃ 1000H
低温試験 -40℃ 1000H
高温高湿試験 60℃90%RH~95%RH 1000H
温度サイクル試験 -40℃ 2H 、85℃ 2H、100℃/H 10サイクル
熱衝撃試験 -40℃/85℃ 各30分 30サイクル
コート密着強度 セロハンテープ(LP-18)を商品に貼り付け、3回ほど指で擦りつけた後、素早く垂直に引き剥がす 10回
耐摩耗性 蒸着面をシルボン紙(DUSPER K-3)で押す、押し圧4.9N/cm2(500gf/cm2)
1往復/秒 連続、往復距離10㎜ 100往復
耐溶剤性試験 IPA、アセトン、エタノール等の溶剤でシルボン紙(DUSPER K-3)を用い 2.94N(300gf)
1往復/秒 連続、往復距離10㎜ 100往復
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