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熱電素子(ペルチェ素子)制御型
4ch・1ch分析システム

温度制御を熱電素子(ペルチェ素子)によって行う分析システム
液体窒素冷却型 極低温4ch分析システム JAXA COSMODE

特長

液体窒素を使用しないため簡素なシステムでの評価が可能で、材料・環境評価向けに最適です。
  • ランニングコストは基本的に電力費のみです。
  • 低温(-80℃~+125℃)、高真空化(10-4Pa以下)での計測が可能です。
  • サンプルから発生する脱離ガスを最大4つのセンサモジュールで計測することができる大型真空チャンバでの評価に最適なタイプと、1つのセンサモジュールで計測する小型真空チャンバでの評価に最適なタイプがあります。

測定サンプルをガス化せずにそのままの状態での計測が可能です。
  • サンプルを破壊せず、そのままの状態で回収することが可能です。
  • サンプルサイズの制約がなく、最終製品状態でのアウトガス測定が可能です。
測定サンプルをガス化せずにそのままの状態での計測が可能です
※写真は小型真空チャンバーでのサンプル投入時のものです。

長時間にわたってリアルタイムにアウトガス計測を行うことが可能です。
  • 最大4つのモジュールを配置して長時間にわたって計測することで、アウトガス発生箇所や発生時刻を特定することが可能です。
  • 測定間隔は1,10,30,60,600,3600秒の中から選択して設定可能です。
  • 測定データは1週間毎に分割して保存されます。データの肥大を防ぐことが可能です。
2週間連続計測を行った例
アウトガス計測
1週目のデータ
アウトガス計測
2週目のデータ

放熱条件により-80℃以下まで冷却することが可能です。
  • センサモジュール取付部(放熱面)をー30℃に冷却することで、水晶振動子センサを―80℃以下に冷却することが可能です。
放熱条件により-80℃以下まで冷却することが可能
放熱条件により-80℃以下まで冷却することが可能

【4ch分析システム】
大型真空チャンバ内に設置することが可能です。
  • LVDS*を出力インターフェイスとして採用。
  • センサモジュールとセンシングユニットは最長20mまで離して設置することが可能です。

【1ch分析システム】
安価なエントリーモデルとして小型の真空チャンバでの評価に最適です。
  • 接続可能センサモジュール数は1個で、小型真空チャンバの環境評価に最適です。
  • 材料評価向け小型真空チャンバと組み合わせることで安価な構成で材料分析評価が可能です。
  • アウトガス脱離の再現性が高く、高精度で高安定な計測が可能です。
安価なエントリーモデルとして小型の真空チャンバでの評価に最適
安価なエントリーモデルとして小型の真空チャンバでの評価に最適
シロキサンD8の付着量別 脱離波形
付着量(Hz) 166 491 732 1,134 2,296 6,006 12,170 19,584 Average σ
1Hz/sec
脱離温度(℃)
-13 -12.3 -13 -12.4 -12.4 -13 -11.8 -10.9 -12.4 0.73
付着量(Hz) 1Hz/sec
脱離温度(℃)
166 -13
491 -12.3
732 -13
1,134 -12.4
2,296 -12.4
6,006 -13
12,170 -11.8
19,584 -10.9
Average -12.4
σ 0.73

カスタム対応が可能です
  • センサモジュールカバーの、反応電極の開口部の角度を広げ、捕捉範囲を広げる
  • センサモジュール取付け部に合わせ、モジュール取付部の構造を変更する
  • 真空チャンバ等に合わせて、ケーブル長、接続コネクタを変更する
  • 専用アプリケーションソフトによる制御仕様、解析機能を追加、変更する
アウトガス捕捉範拡大の要望を受けてカスタム対応した例

システム構成例

【4ch分析システム】
大型真空チャンバに設置したシステム構成例
システム構成例
【1ch分析システム】
材料評価用小型真空チャンバに設置したシステム構成例
システム構成例

真空チャンバを含めた評価システム販売も可能です。 詳細はこちら


アプリケーションソフトウェア
Twin-QCMセンシングユニットの操作は、付属の専用アプリケーションソフト(Twin-QCM Real Time Monitor)を使用します。
Twin-QCM Real Time Monitorは、モニタリングやデータ解析が可能です。
  • QCMセンサモジュールの周波数変化の測定とモニタリング
  • QCMセンサモジュールの温度変化の測定とモニタリング
  • 測定した周波数及び温度データのcsv形式での保存機能
  • 取得した周波数データの周波数偏差の測定、波形の重ね合わせなどの解析機能
  • Allan分散分析手法による、周波数の安定度モニタリング
  • ER(Evaporation Rate)チャートによるコンタミ物質の脱離速度と温度相関の解析
  • 計測システムの状態監視
  • 温度制御プログラムの編集及び温調器(計測装置組込み)への書込み機能
  • CQCM/TQCMの判別及び温度制御方式の自動切り替え

アプリケーションソフトウェア
Twin-QCM Real Time Monitor画面例

仕様

Twin-TQCMセンサモジュール PSA-QM-1002
周波数 10.278MHz(基本波) /30.833MHz(3倍波)
質量感度 2.39x108 (Hz/g)㎠(基本波)
7.17x108 (Hz/g)㎠(3倍波)
動作温度範囲 -80 ~ +125℃
温度特性 ±10ppm
(+25℃を基準として-80℃〜+80℃にて)
寸法 Φ35.0x23.3(H)mm
電極面積:12.57㎟
重量 ≦50g
ペルチェ電力 ≦9W
測定視野角 20° (Harf Angle)
センシングユニット 4chタイプ・PSA-QS-1001 1chタイプ・PSA-QS-1002
制御ch数 1 ~ 4 1
周波数検出精度 ≦1ppm ≦1ppm
周波数分解能 0.01Hz 0.01Hz
動作温度範囲 +10 ~ 40℃ +10 ~ 40℃
電源・電圧 AC100V ~ AC240V(50/60Hz) AC100V ~ AC240V(50/60Hz)
寸法 437(W) x 132(H) x 499(D) mm(突起部除く) 437(W) x 132(H) x 499(D) mm(突起部除く)
重量 ≦10kg ≦10kg
センシングユニット 1chタイプ・PSA-QS-1002
制御ch数 1
周波数検出精度 ≦1ppm
周波数分解能 0.01Hz
動作温度範囲 +10 ~ 40℃
電源・電圧 AC100V ~ QC240V(50/60Hz)
寸法 437(W) x 132(H) x 499(D) mm(突起部除く)
重量 ≦10kg
*ご使用になる国や地域によっては、電源電圧に制限がある場合があります。
Twin-TQCMセンサモジュール外観 (単位:mm)
Twin-CQCMセンサモジュール外観
Twin-QCMセンシングユニット(4ch)外観 (単位:mm)
Twin-CQCMセンサモジュール外観
Twin-QCMセンシングユニット(1ch) 外観 (単位:mm)
Twin-CQCMセンサモジュール外観
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