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Twin-CQCMセンサ
極低温環境で高精度・高安定な測定に対応
Twin-CQCMは、液体窒素による冷却により-196℃までの極低温制御に対応したQCMセンサです。
測定用と基準用の2枚の水晶振動子により温度変動の影響を補正し、安定した質量変化の検出が可能です。
1ch／4chコントローラとの組み合わせにより、目的に応じた柔軟なシステム構成に対応します。
特長
-196℃～+125℃対応の極低温測定
液体窒素冷却による高安定温度制御
測定用／基準用の2ch構成で安定性の高い測定が可能
ASTM E1559／E2900試験に対応
極低温環境における温度安定性
－196℃〜＋125℃まで温度を変化させても、検出電極と基準電極の差は実力±6pm以内。
【 モジュールの周波数温度特性 】
- 各電極の周波数変動は800ppm以上
- 差分を取ることで±6ppm以内
- 温度変動による影響1/100以下
カスタム対応について
ご用途や設置条件に応じて以下のようなカスタム対応が可能です。
カバー開口部の角度調整によるアウトガス捕捉範囲の拡大
チャンバー条件に応じたモジュール構造変更
ケーブル長、接続コネクタの変更
ソフトウェアの解析機能や制御仕様の変更
【 カスタム例 】
仕様
| Twin-CQCMセンサモジュール | PSA-QM-1001 |
|---|---|
| 出力周波数 | 10.278MHz(基本波) /30.833MHz(3倍波) |
| 質量感度 | 2.39x108 (Hz/g)cm2(基本波) 7.17x108 (Hz/g)cm2(3倍波) |
| 周波数感度 | 0.53ng/Hz (基本波) 0.18ng/Hz (3倍波) |
| センサ電極面積 | 0.1257 cm2（1電極あたり） |
| 温度センサ | 白金測温抵抗体 Pt1000 Class F0.3 |
| 動作温度範囲 | －196℃〜＋125℃ |
| 差分周波数温度特性 | ±10ppm以内 （+25℃を基準として-80℃〜+80℃にて） |
| 外形寸法 | Φ35.0x23.3(H)mm（突起部除く） |
| 重量 | ≦100g |
| ヒータ電力 | ≦6W |
| 発振回路電力 | ≦0.5W |
| 測定視野角 | 20° (Harf Angle) |
外観図
単位：mm
