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製品ラインアップ
QCMリアルタイムプロセスモニタ
製造現場での技術適合性を評価中
当社のアウトガス分析装置で実績のあるQCM（Quartz Crystal Microbalance）技術を応用し、プロセスガスのモニタリングを目的とした新型モニタを開発中です。
本製品は、全くの新規開発ではなく、既存技術の横展開により信頼性と応用性を両立しています。
現在、実際の製造プロセスにおいて、本モニタが技術的に適合するかの検証を進めております。
ご興味のある企業様には、評価用ユニットの提供および技術サポートを行っております。
詳細については、お気軽にお問い合わせください。
主用途
半導体製造（前工程）プロセスにおけるリアルタイムプロセスモニタ
真空チャンバー内の洗浄度モニタ
微量水分計測
Twin-QCM®センサ
写真1: Twin-QCM®センサ (NW25タイプ）
写真2: NW25フランジ取り付け
写真3: Twin-QCM®センサ (チャンバー内設置タイプ）
写真4: 水晶振動子センサ
写真5: 水晶振動子センサ（アルミナ電極タイプ）
特長
一つの水晶片上に検出用/基準用の二つの電極を構成。安定性の高い測定が可能。
NW25フランジに直接取り付け可能（写真２）
＊真空チャンバー内に設置可能な評価用センサも取り揃えています（写真３）
反応性エッチング環境で測定を可能とするアルミナコーティングした水晶振動子センサもオプションで対応可能（写真５）
仕様
| Twin-QCM®センサモジュール （NW25タイプ） |
形名：PSA-QM-1008 |
|---|---|
| 出力周波数 | 10.278MHz（基本波） 30.833MHz（3倍波） |
| 質量感度 | 2.39×108 (Hz/g)
cm2（基本波） 7.17×108 (Hz/g) cm2（3倍波） |
| 周波数感度 | 0.53ng/Hz（基本波） 0.18ng/Hz（3倍波） |
| センサ電極面積 | 0.1257 cm2（1電極あたり） |
| センサ電極材質 | Au（Al2O3,PI等、対応可能） |
| 温度センサ | 白金測温抵抗体 Pt1000 Class F0.3 |
| 動作温度範囲 | 0℃ ～ +80℃ |
| 差分周波数温度特性 | ±10ppm以内 （+25℃を基準として -25℃ ～ +80℃ にて） |
| ペルチェ電力 | ≦ 9W |
| ペルチェ冷却性能 | ⊿T≧50℃（放熱部温度+25℃、10-4Pa） |
| 発振回路電力 | ≦ 0.5W |
| 外形寸法 | Φ40.0×27.3(H)mm（突起部除く） |
| 重量 | ≦ 50g |
| 筐体材質 | アルミ（アルマイト処理） |
| 測定視野角 | 70゜（Harf Angle） |
| 圧力レンジ | 大気圧 ～ 高真空（10-4Pa） |
外観図
単位：mm
2ch コントローラ
2chコントローラは、Twin-QCM®センサを接続し、温度制御およびQCM信号の
モニタリングを行う基本ユニットです。
特長
最大２つのセンサを独立制御できる多チャンネル対応
100msの高速計測に対応し、且つオンサイト計測も可能
小型
仕様
| Twin-QCM®コントローラ | 形名：PSA-QS-1004 |
|---|---|
| 同時計測センサ数 | ≦ 2 |
| モジュール制御距離 | 最大20m |
| 周波数検出精度 | ≦ 1 ppm |
| 周波数計測分解能 | 0.01Hz |
| 温度検出精度 | ≦ ±0.3℃ |
| 温度計測範囲 | -200℃ ～ +200℃ |
| 温度計測分解能 | 0.1℃ |
| 温調プログラム数 | 4 |
| 温調セグメント数 | 32 |
| RAMPレート（温度勾配） | 0.1 ～ 20.0℃/分（0.1℃単位） |
| SOAK（恒温制御）時間設定 | 1分間 ～ 99時間59分（1分単位） |
| 計測間隔 | 100ms, 1s |
| 動作温度範囲 | +0 ～ 50℃ |
| 電源電圧＊ | DC24V |
| 消費電力 | ≦ 35W（センサモジュール2個接続時） |
| 外形寸法 | 225(W) × 125(D) × 66.5(H) mm （突起部除く） |
| 重量 | 1.3kg |
＊専用ACアダプタ(AC100V～240V)を付属します。
外観図
単位：mm
QCMリアルタイムプロセスモニタ