用于步进机的高纯度水晶波长板可通过控制激光的偏振，实现高效率加工，同时使用以本公司独有的高纯度培育技术培育的人工水晶，所以可被作为具有长使用寿命、高可靠性的光学元件使用。

① 使用本公司独有的高纯度人工水晶，可保证在波长193 nm等真空紫外区域也具有高透过率。

■透过率数据（140～300 nm） N-Grade EX 及 N-Grade 产品在吸收端仍能保持高透过率

② 使用本公司独有的高纯度人工水晶，可确保高激光耐久性和长使用寿命。

N-Grade EX

一般光学用（JIS D 级）

激光照射条件：ArF 准分子激光 50mJ/cm2,100Hz,1×10⁵次照射
设备：VARIAN公司生产 测定波长 : 190～800nm