产品检索
应用
- 半导体曝光设备
- 高功率激光等
特点
- 可使用具有优异激光耐受性的最高纯度的人工水晶 【N-Grade EX】。
- 使用了最高纯度的人工水晶【N-Grade EX】，因其高的激光耐受性，所以即使在真空紫外区域的吸收端，也能保持高透过率。
- 在太赫兹波段具有高透过率，可用于医疗及安防用途。
- 可支持最大到Φ200mm（激光级）的大尺寸规格。
高功率激光用水晶波长板所用的水晶等级
【N-Grade EX】为最高纯度的产品。
| 等级 |
异物密度1) (JIS标准) |
α3585值2) (JIS标准) |
杂质(ppb) 参考值3) | 使用温度4) | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Al | Na | Ca | Fe | Li | ||||
 |
Ⅰa | Aa | 19 | <2 | <1 | <1 | 5 | 573 max |
 |
Ⅰa | A | 70 | 60 | <40 | <40 | <40 | 573 max |
| 激光 | Ⅰa | C | 2700 | 1100 | 140 | 40 | 800 | 573 max |
Remarks)
- 1）异物密度依据 JIS-C 6704 标准。Ia等级为光学用途中包裹物最少的等级。
- 2）红外吸收系数α值依据 JIS-C 6704 标准，根据羟基- OH的吸收系数进行规格化。
- 3）是ICP-MS 定量分析示例。不作为杂质含量保证。可根据顾客要求，对每块水晶原石进行分析并附报告，但这种情况分析费用另计。
- 4）人工水晶的相变温度为573℃，请在此温度以下使用。
激光耐久性
N-Grade EX
一般光学用（JIS D等级）
激光照射条件 : ArF准分子激光 50mJ/cm2,100Hz,1×105次
测试装置 : VARIAN公司制造 测量波长范围：190〜800nm
紫外区域透过率性能
高Q值与低Q值透过率比较
高耐久镀膜技术
用防止激光损伤的设计与制造方法，提供具有高激光耐久性的镀膜技术。
激光耐受性评估
激光用波长板AR镀膜示例（248nm）
[ 激光损伤阈值: 40J/cm2 ]
照射光束强度分布
X230μm X y725μm
评估激光装置光学配置图
激光用波长板AR镀膜示例 (532nm)
[ 激光损伤阈值: 140J/cm2 ]
照射光束强度分布
X280μm X y230μm
评估激光装置光学配置图
激光用波长板AR镀膜示例 (1064nm)
[ 激光损伤阈值: 256J/cm2 ]
照射光束强度分布
X480μm X Y510μm
评估激光装置光学配置图
激光脉冲波形 (10ns)
| 波长 | 反射率 | 激光损伤阈值 | 激光脉冲 | 脉冲次数 | 光束尺寸 (μm) |
|---|---|---|---|---|---|
| 193nm | R<0.5% | 33J/cm2 | 10ns | 1-on-1 | X190 Y640 |
| 248nm | R<0.5% | 40J/cm2 | 10ns | 1000-on-1 | X230 Y725 |
| 355nm | R<0.5% | 92J/cm2 | 8ns | 1-on-1 | X170 Y160 |
| 532nm | R<0.5% | 140J/cm2 | 9ns | 1-on-1 | X280 Y230 |
| 1064nm | R<0.5% | 256J/cm2 | 10ns | 1-on-1 | X410 Y510 |
※ 激光损伤阈值测定：由日本激光技术综合研究所进行
（此为评估试验结果，非保证值）
激光用直接接合技术
为防止激光导致粘合剂劣化，对于粘合型波长板，也可以提供不使用粘合剂的光学接触型波长板。与传统的气隙型相比，可减少镀膜层数，从而提升激光耐受性。
标准规格
| 适用波长 | λ=193～1550nm |
|---|---|
| 相位差 | λ/2(180deg) or λ/4(90deg)(任意波长λ) |
| 相位精度 | ±λ/200(任意波长λ) |
| 外形尺寸 | X,Y-cut Max. Φ50mm (N-Grade EX) Z-cut Max. Φ89mm (N-Grade EX) Max. Φ200mm(Laser 等级) |
| 缺陷标准[ISO 10110] | 10-5 |
| AR镀膜反射率 | 0.25% Max.(任意波长λ) |
| 透过波面精度 P-V值 | λ/10 Max. (有効領域80%以内) |
| 激光损伤阈值 (Measured Example) | 256J/cm2 Min. (1064nm、10ns 1-on-1脉冲典型值) |
| 其他 | 镀膜、贴合均在本公司内进行。 |
※ 激光损伤阈值测定：由日本激光技术综合研究所进行（此为评估试验结果，非保证值）
外形
可在下列尺寸范围内提供。对于下列以外的外形尺寸，我们也会评估。同时可提供支架的制作服务。
特性示例
产品系列
| 波长(nm) | 边框外形(mm) | 有效口径(mm) | 边框厚度(mm) | 相位差(deg) | 激光损伤阈值(J/cm2) | 规格料号 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 193 | DIA25.4 | 14.9 | 10 | 90 | 30 | EAS00A-01225 |
| 193 | DIA30.0 | 19.5 | 10 | 90 | 30 | EAS00A-01226 |
| 193 | DIA50.8 | 37 | 10 | 90 | 30 | EAS00A-01227 |
| 193 | DIA25.4 | 14.9 | 10 | 180 | 30 | EAS00A-01228 |
| 193 | DIA30.0 | 19.5 | 10 | 180 | 30 | EAS00A-01229 |
| 193 | DIA50.8 | 37 | 10 | 180 | 30 | EAS00A-01230 |
| 248 | DIA25.4 | 14.9 | 10 | 90 | 40 | EAS00A-01325 |
| 248 | DIA30.0 | 19.5 | 10 | 90 | 40 | EAS00A-01326 |
| 248 | DIA50.8 | 37 | 10 | 90 | 40 | EAS00A-01327 |
| 248 | DIA25.4 | 14.9 | 10 | 180 | 40 | EAS00A-01328 |
| 248 | DIA30.0 | 19.5 | 10 | 180 | 40 | EAS00A-01329 |
| 248 | DIA50.8 | 37 | 10 | 180 | 40 | EAS00A-01330 |
| 266 | DIA25.4 | 14.9 | 10 | 90 | - | EAS00A-01231 |
| 266 | DIA30.0 | 19.5 | 10 | 90 | - | EAS00A-01232 |
| 266 | DIA50.8 | 37 | 10 | 90 | - | EAS00A-01233 |
| 266 | DIA25.4 | 14.9 | 10 | 180 | - | EAS00A-01234 |
| 266 | DIA30.0 | 19.5 | 10 | 180 | - | EAS00A-01235 |
| 266 | DIA50.8 | 37 | 10 | 180 | - | EAS00A-01236 |
| 355 | DIA25.4 | 14.9 | 10 | 90 | 92 | EAS00A-01237 |
| 355 | DIA30.0 | 19.5 | 10 | 90 | 92 | EAS00A-01238 |
| 355 | DIA50.8 | 37 | 10 | 90 | 92 | EAS00A-01239 |
| 355 | DIA25.4 | 14.9 | 10 | 180 | 92 | EAS00A-01240 |
| 355 | DIA30.0 | 19.5 | 10 | 180 | 92 | EAS00A-01241 |
| 355 | DIA50.8 | 37 | 10 | 180 | 92 | EAS00A-01242 |
| 532 | DIA25.4 | 14.9 | 10 | 90 | 140 | EAS00A-01243 |
| 532 | DIA30.0 | 19.5 | 10 | 90 | 140 | EAS00A-01244 |
| 532 | DIA50.8 | 37 | 10 | 90 | 140 | EAS00A-01245 |
| 532 | DIA25.4 | 14.9 | 10 | 180 | 140 | EAS00A-01246 |
| 532 | DIA30.0 | 19.5 | 10 | 180 | 140 | EAS00A-01247 |
| 532 | DIA50.8 | 37 | 10 | 180 | 140 | EAS00A-01248 |
| 1,064 | DIA25.4 | 14.9 | 10 | 90 | 256 | EAS00A-01249 |
| 1,064 | DIA30.0 | 19.5 | 10 | 90 | 256 | EAS00A-01250 |
| 1,064 | DIA50.8 | 37 | 10 | 90 | 256 | EAS00A-01251 |
| 1,064 | DIA25.4 | 14.9 | 10 | 180 | 256 | EAS00A-01252 |
| 1,064 | DIA30.0 | 19.5 | 10 | 180 | 256 | EAS00A-01253 |
| 1,064 | DIA50.8 | 37 | 10 | 180 | 256 | EAS00A-01254 |
| 1,550 | DIA25.4 | 14.9 | 10 | 90 | - | EAS00A-01255 |
| 1,550 | DIA30.0 | 19.5 | 10 | 90 | - | EAS00A-01256 |
| 1,550 | DIA50.8 | 37 | 10 | 90 | - | EAS00A-01257 |
| 1,550 | DIA25.4 | 14.9 | 10 | 180 | - | EAS00A-01258 |
| 1,550 | DIA30.0 | 19.5 | 10 | 180 | - | EAS00A-01259 |
| 1,550 | DIA50.8 | 37 | 10 | 180 | - | EAS00A-01260 |
※ 激光损伤阈值测定：由日本激光技术综合研究所进行
（此为评估试验结果，非保证值）
购买信息
我们产品系列中列出的产品，也可在光学产品在线市场 MEETOPTICS 上购买。
→我们在 MEETOPTICS 上的产品
https://www.meetoptics.com/optics/all?Supplier__t_s=NDK
* 如需咨询未列出的产品，请与我们联系。
保证项目
关于光学产品的环境与机械特性，测试项目包括温度、湿度、抗冲击性及耐热性等。针对各产品设定相应的测试项目与条件，以保证产品特性。但根据光学产品的形状、特性、用途及使用环境等不同，保证项目与条件会有所差异。
| 高温试验/ | 85℃ 1000H |
|---|---|
| 低温试验 | -40℃ 1000H |
| 高温高湿试验 | 60℃90％RH～95%RH 1000H |
| 温度循环试验 | -40℃ 2H 、85℃ 2H、100℃/1H 10个循环 |
| 热冲击试验 | -40℃/85℃ 30 Minutes Each 30 Cycles |
| 镀膜附着强度 | 将透明胶带 (LP-18)粘贴于产品上，用手指摩擦3次左右后，快速垂直撕下胶带，共10次。 |
| 耐磨性 | 蒸镀面用镜片无尘擦拭纸（DUSPER K-3）按压，按压压力4.9 N/cm2 (500 gf/cm2)
1个往复/秒连续，往复距离10mm， 共100个往复。 |
| 耐溶剂性试验 | 使用IPA、丙酮、乙醇等溶剂，在溶剂中以镜片无尘擦拭纸（DUSPER K-3）按压产品，按压压力2.94N（300gf），1个往复/秒连续，往复距离10mm，共100个往复。 |
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