ステッパー用途の高純度水晶波長板はレーザーの偏光を制御することで高効率の加工を実現するとともに、
独自の高純度育成技術で製造した人工水晶を使用することで、長寿命・高信頼性の光学素子としてご利用いただけます。

①弊社独自の高純度人工水晶を使用することで、波長193nmなどの真空紫外領域も高い透過率を保証いたします。

■透過率データ（140～300mm）　N-Grade EX および N-Grade品は吸収端まで高い透過率を維持します

②弊社独自の高純度人工水晶を使用することで、高いレーザー耐久性・長寿命をお約束いたします。

N-Grade EX

一般光学用（JIS Dグレード）

レーザー照射条件：ArF エキシマレーザー　50mJ/cm2,100Hz,1×10⁵ shot
装置：VARIAN社製　測定波長：190〜800nm