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特長
■3インチ、4インチウエハに対応
SAWデバイス用水晶ウエハサイズに応じて、最適なサイズに製造した人工水晶です。
ウエハサイズは3インチ、4インチ用の2種類を提供いたします。
■様々なデバイス設計に対応可能
SAWデバイスの設計によってウエハの切断角度は様々になります。切断角度（θ）が小さいほど、人工水晶のZ寸法は大型のものが必要となります。様々なウエハ切断角度に対応可能な人工水晶を製造しております。
品質
■高品質
転位の少ない種結晶を使用することにより、フォトリソ工程で悪影響を及ぼす種結晶部分のエッチチャンネル(貫通孔）を極限まで少なくしております。
異物密度、及びα3585値は、それぞれ人工水晶・品質規格「JIS C 6704」に規定されるⅡ等級、及びC等級を満足いたします。
仕様
■ランバード人工水晶
人工水晶のX，Z面を所定の寸法及び角度に加工したものです。
ランバード人工水晶の加工面は高い精度で加工してあり、精度のよいウエーハ切断が可能です。
※特殊仕様については、お問い合わせください。
■ブロック外形図
アズグロウン
ランバード
◆使用上の注意
人工水晶をご使用の前に必ず下記をご熟読ください。
水晶は573℃において相転移をおこしα水晶からβ水晶に変化します。この相転移は可逆的ですが、β水晶からα水晶に転移するとき一様に転移がおこらないため、双晶が発生します。従いましていかなる場合もこの温度（573℃）以上にはしない様ご注意ください。
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