水分計測

製造現場では、ドライルーム環境や乾燥・封止工程において「水分の影響」が認識されていても、その挙動をリアルタイムかつ定量的に把握するのは難しいのが実情ではないでしょうか。水分による微細な変化が性能に直結する工程では、その重要性が一層高まっています。
NDKのリアルタイムプロセスモニタは、QCM技術により、水分量をその場で数値化。工程内の微量水分を捉えることで、品質の安定化・処理完了判断・安全対策まで幅広く貢献します。

QCM（Quartz Crystal Microbalance）センサは、水晶振動子の共振周波数の変化を利用して、表面に付着した質量を高精度で検出します。

センサ表面を冷却すると、周囲の空気中の水分（蒸気）がセンサ表面に凝縮します。凝縮した水分がセンサ表面に付着すると、質量が増加します。
QCMセンサはこの質量変化を検出し、周波数の低下として測定します。周波数の変化量から、水分量を定量的に計測できます。

微量な水分でも検出可能（ナノグラムレベル）
空気中の水分をリアルタイムで測定